電容式MEMS技術(shù)

ASC 5521加速度傳感器基于電容式MEMS技術(shù)，可在0Hz以下的低頻響應(yīng)中使用。在傳感器元件內(nèi)部，地震質(zhì)量與兩個(gè)導(dǎo)電電容板連接。如果地震質(zhì)量在兩個(gè)電容板之間振蕩，電容就會(huì)發(fā)生變化。這種電容變化通過ASIC(應(yīng)用特定的集成電路)轉(zhuǎn)換成模擬信號。

描述

ASC 5521和ASC 5525是針對不同應(yīng)用的需求而開發(fā)的。高魯棒殼體和連接電纜適用于汽車、火車、軍事等領(lǐng)域的粗糙應(yīng)用。這些ASC加速度計(jì)得益于芯片技術(shù)的高穩(wěn)定性、低偏置和良好的標(biāo)度因子溫度系數(shù)。

asc5521和asc5525在較寬的溫度范圍內(nèi)得到充分補(bǔ)償，并經(jīng)過工廠校準(zhǔn)。由于采用電容技術(shù)，測量范圍非常小是可能的。放大后的輸出易于與數(shù)據(jù)采集單元一起使用。信號獨(dú)立于+8VDC到+30VDC之間的電源。一個(gè)非常高的靈活和堅(jiān)固的電纜提供了一個(gè)簡單的安裝。ASC 5521和ASC 5525標(biāo)準(zhǔn)配置6米電纜。

ASC 5521加速度傳感器

德國ASC傳感器總覽

1. ACCELEROMETERS (線加速度傳感器) 2. GYROS（角速度傳感器） 3. INERTIAL MEASUREMENT UNIT （慣性測量單元）

一、線加速度傳感器（Accelerometers）

【A. MEMS電容型(Capactie )  B. MEMS壓阻型(Pizoresistie)  C. 壓電型（Pizoelectric:IEPE集成了放大器和電荷電/壓轉(zhuǎn)換器】

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微機(jī)電系統(tǒng)，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

1微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。

2以硅為主要材料，機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。

3批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個(gè)微型機(jī)電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。

4集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

5多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子、機(jī)械、材料、制造、信息與自動(dòng)控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科，并集約了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多*成果